审计处设立于1996年，是学校主管内部审计工作的职能部门，履行学校审计委员会办公室工作职责，在学校党、政主要负责人的直接领导下开展内部审计工作，向其负责并报告工作。负责审计委员会日常组织协调工作，督促落实审计委员会决定的有关事项。内部审计工作接受国家审计机关的业务指导和监督。2020年9月，为加强党对内部审计工作的领导，学校成立中共青岛理工大学委员会审计委员会，党委审计委员会办公室设在审计处。连续多年获“山东省教育审计先进集体”等荣誉称号。审计处设财务审计科、工程审计科、经济责任审计科。